Instruments de procédé pour la lithographie micro et nanolithographie

Des instruments, systèmes et composants orientés application pour différents étapes de procédé tout au long de la chaîne de procédé complète ; également des fabrications sur mesure pour des exigences clients spécifiques.

Plaques chauffantes

Plaques chauffantes pour la déshydratation ainsi que pour les procédés soft-bake et hard-bake en lithographie, MEMS et applications similaires ; pour différentes tailles de substrat jusqu’au grand format.

Modules de spin

Modules de spin pour l’enduction manuelle et semi-automatique de couches minces sur des tranches (wafer) et des substrats ; comprenant le système RCCT, des fonctions de dosage et des variantes pour différentes tailles.

Pulvérisateur de revêtement

Pulvérisateur de revêtement pour des dépôts homogènes de microstructures 3D, des tranches fortement structurées et des surfaces non planaires ; pour l’enduction par pulvérisation manuelle et le développement par pulvérisation.

Révélateurs

Révélateurs pour le nettoyage, le développement et le gravage partiel de tranches (wafer) et de substrats ; en développement par trempage (puddle) ou par pulvérisation, avec une faible consommation de produits chimiques et une grande précision de répétition.

Laveur-sécheur à centrifugation

Laveur-sécheur à centrifugation pour le nettoyage et le séchage des tranches (wafer) et des substrats après des procédés par voie humide ; avec chambres de procédé fermées, rinçage et azote chauffé.

Systèmes combinés

Systèmes compacts qui combinent des modules de spin, des révélateurs ou des plaques chauffantes dans une armoire (cabinet) ; pour les laboratoires, la R&D, les instituts et les projets pilotes.

Systèmes flexibles

Systèmes sur mesure avec le module ROBO pour combiner des plaques chauffantes, des modules de spin, des pulvérisateurs de revêtement ou des révélateurs ; utilisables manuellement ou automatiquement.

Systèmes en cluster

Systèmes cassette-à-cassette entièrement automatiques avec un préalignateur et des stations de procédé flexibles ; pour des solutions de production standardisées et spécifiques au client.

Pompes doseuses

Pompes doseuses de précision à membrane pour des fluides de faible et de forte viscosité ; adaptées à des quantités de dosage très précises, y compris dans des procédés protégés contre les explosions.

Vannes doseuses

Vannes doseuses à membrane pour des médias à faible à moyenne viscosité ; compactes, durables et adaptées aux procédés protégés contre les explosions.

Installation, formation et support après-vente

Installation et formation chez le client, tests d’acceptation en usine et sur site, prestations de garantie, nettoyage des équipements ainsi que service et pièces de rechange dans le monde entier.

Sawatec AG

À propos de l'entreprise

Produits et prestations

Vous cherchez des adresses e-mail et des numéros de téléphone directs ?

Sawatec AG

À propos de l'entreprise

Produits et prestations

Vous cherchez des adresses e-mail et des numéros de téléphone directs ?

Note agrégée

Aucun article pour l’instant

Sawatec AG en comparaison

Les comparaisons sectorielles arrivent bientôt

Entreprises similaires