Strumenti di processo per la litografia micro e nanolitografia

Strumenti, sistemi e componenti orientati all’applicazione per le diverse fasi di processo lungo l’intera catena di processo; anche realizzazioni su misura per esigenze specifiche del cliente.

Piastre riscaldanti

Piastre riscaldanti per la disidratazione nonché per i processi soft-bake e hard-bake in litografia, MEMS e applicazioni simili; per diverse dimensioni di substrato fino al formato grande.

Moduli di spin

Moduli di spin per l’applicazione manuale e semi-automatica di film sottili su wafer e substrati; inclusi sistema RCCT, funzioni di dosaggio e varianti per diverse dimensioni.

Rivestitore a spruzzo

Rivestitore a spruzzo per rivestimenti omogenei di microstrutture 3D, wafer fortemente strutturati e superfici non planari; per rivestimento a spruzzo e sviluppo a spruzzo manuali.

Sviluppatori

Sviluppatori per pulizia, sviluppo e parziale incisione di wafer e substrati; come sviluppo per puddle o a spruzzo, con basso consumo di sostanze chimiche e elevata accuratezza di ripetizione.

Lavasciuga a centrifugazione

Lavasciuga a centrifugazione per la pulizia e l’asciugatura di wafer e substrati dopo processi a umido; con camere di processo chiuse, risciacquo e azoto riscaldato.

Sistemi combinati

Sistemi compatti che combinano moduli di spin, sviluppatori o piastre riscaldanti in un cabinet; per laboratori, R&S, istituti e progetti pilota.

Sistemi flessibili

Sistemi su misura con modulo ROBO per combinare piastre riscaldanti, moduli di spin, rivestitori a spruzzo o sviluppatori; azionabili manualmente o automaticamente.

Sistemi a cluster

Sistemi cassette-to-cassette completamente automatici con preallineatore e stazioni di processo flessibili; per soluzioni di produzione standardizzate e su misura del cliente.

Pompe dosatrici

Pompe dosatrici di precisione a membrana per mezzi a bassa e alta viscosità; adatte a quantità di dosaggio altamente precise, anche in processi a sicurezza antiesplosione.

Valvole dosatrici

Valvole dosatrici a membrana per mezzi a viscosità bassa fino a media; salvaspazio, durevoli e adatte a processi a sicurezza antiesplosione.

Installazione, formazione e supporto post-vendita

Installazione e formazione presso il cliente, test di accettazione in fabbrica e in sito, servizio in garanzia, pulizia dell’attrezzatura e, a livello mondiale, servizio e parti di ricambio.

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